DGUV Information 213-546 - Verfahren zur getrennten Bestimmung der Konzentrationen von anorganischen Fasern in Arbeitsbereichen - Rasterelektronenmikroskopisches Verfahren
Abschnitt 1.2 - 1.2 Geräte für die Filterpräparation
Anlage zum Goldbeschichten der Kernporenfilter 2) , z. B. Fa. GaLa-Instrumente, 65307 Bad Schwalbach,
Anlage zur Kaltveraschung im Sauerstoffplasma, z. B. Fa. GaLa-Instrumente, zum Entfernen der organischen Bestandteile des beaufschlagten Messfilters. Kommerziell erhältlich sind Plasmaprozessoren zur Kalt- bzw. Tieftemperaturveraschung, bei denen die Ankopplung des Plasmas kapazitiv oder induktiv erfolgt. Bei induktiver Ankopplung muss darauf geachtet werden, dass sich das Filter nicht im Feld der Induktionsspulen befindet.
